機器リスト

kiki

白金スパッタ

機器No 34
機器名 白金スパッタ
規格 JFC-1600
メーカー 日本電子
概要 白金スパッタ膜の作成
設置場所 総合研究棟104室
利用料 料金表
課金単位 4時間
担当 石川
性能等・備考

帯電する試料のSEM観察前処理