機器リスト
kiki
白金/カーボンコーター
| 機器No | 33 |
|---|---|
| 機器名 | 白金/カーボンコーター |
| 規格 | SC701C |
| メーカー | サンユー |
| 概要 | 白金スパッタ膜およびカーボン蒸着膜作成 |
| 設置場所 | ナノデバイス作製評価センター |
| 利用料 | 料金表 |
| 課金単位 | 4時間 |
| 担当 | 石川 |
| 性能等・備考 | 帯電する試料のSEM観察前処理 |
kiki
| 機器No | 33 |
|---|---|
| 機器名 | 白金/カーボンコーター |
| 規格 | SC701C |
| メーカー | サンユー |
| 概要 | 白金スパッタ膜およびカーボン蒸着膜作成 |
| 設置場所 | ナノデバイス作製評価センター |
| 利用料 | 料金表 |
| 課金単位 | 4時間 |
| 担当 | 石川 |
| 性能等・備考 | 帯電する試料のSEM観察前処理 |