機器リスト
kiki
ソフトエッチング
| 機器No | 32 |
|---|---|
| 機器名 | ソフトエッチング |
| 規格 | - |
| メーカー | メイワフォーシス |
| 概要 | イオンスパッタを用いた試料表面のクリーニング |
| 設置場所 | 総合研究棟104室 |
| 利用料 | 料金表 |
| 課金単位 | 4時間 |
| 担当 | 石川 |
| 性能等・備考 | SEM観察の前処理に使用できる |
kiki
| 機器No | 32 |
|---|---|
| 機器名 | ソフトエッチング |
| 規格 | - |
| メーカー | メイワフォーシス |
| 概要 | イオンスパッタを用いた試料表面のクリーニング |
| 設置場所 | 総合研究棟104室 |
| 利用料 | 料金表 |
| 課金単位 | 4時間 |
| 担当 | 石川 |
| 性能等・備考 | SEM観察の前処理に使用できる |