XPS

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学外の方へ浜松共同利用機器センター

学外の方へXPS

機器No	6
機器名	XPS
規格	AXIS ULTRA DLD
メーカー	島津
概要	X線電子分光法による物質の定性・定量
設置場所	ナノデバイス作製評価センター
利用料	料金表
課金単位	4時間
担当	下村
性能等・備考	27のESCAよりも高性能、Arイオンクラスターガン、SIMS、UPSを複合している