薄膜XRD

kiki

学外の方へ浜松共同利用機器センター

学外の方へ薄膜XRD

機器No	1
機器名	薄膜XRD
規格	RINT Ultima III
メーカー	リガク
概要	X線回折装置
設置場所	ナノデバイス作製評価センター
利用料	料金表
課金単位	4時間
担当	小山
性能等・備考	インプレーン測定など薄膜評価に向いた測定ができる仕様