機器リスト

kiki

XPS

機器No 6
機器名 XPS
規格 AXIS ULTRA DLD
メーカー 島津
概要 X線電子分光法による物質の定性・定量
設置場所 ナノデバイス作製評価センター
利用料 75,000円/4時間
課金単位 4時間
担当 下村
性能等・備考

27のESCAよりも高性能、Arイオンクラスターガン、SIMS、UPSを複合している